質(zhì)量流量計是一種..測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量傳感器直接計量氣體質(zhì)量流量,有很高的測量精度,是對應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(101.325kPa, 20℃)的體積流量,通常表達SLPM(標(biāo)準(zhǔn)升/分),氣體質(zhì)量流量自動換算成體積流量。
在質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上,再加上調(diào)節(jié)閥門和特定的PID控制電路研制而成底吹氬系統(tǒng)專用質(zhì)量流量控制器,底吹氬系統(tǒng)專用質(zhì)量流量控制器具有質(zhì)量流量計的功能,還能自動控制氣體流量。用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,質(zhì)量流量控制器自動地將流量恒定在設(shè)定值上,不受系統(tǒng)壓力或環(huán)境溫度的影響。質(zhì)量流量控制器是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
DHZQK質(zhì)量流量控制器安裝時要先連接流量計的上游端,上游直管段應(yīng)滿足10DN的.低要求,下游直管段應(yīng)滿足5DN的.低要求;
DHCZK氣體層流質(zhì)量流量控制器,可測流體范圍廣泛,測量管的振動幅小,對迎流流速分布不敏感,因而安裝時無直管段要求。
閥門的控制功能是依靠驅(qū)動機構(gòu)或流體驅(qū)使啟閉件升降、滑移、旋擺或回轉(zhuǎn)運動以改變流道面積的大小來實現(xiàn)的,調(diào)節(jié)范圍為:0.5-20Nl/min;2-100Nl/min;6-300Nl/min;12-600Nl/min;24-1200Nl/min;30-1500Nl/m。

圖1 熱式質(zhì)量流量控制器帶液晶顯示
圖2 質(zhì)量流量控制器不帶顯示

圖3 DHCZK氣體層流質(zhì)量流量控制器

當(dāng)前位置:


